激光干涉仪在振动计量中的应用
激光测振及其常用方法
一般振动测试大致可以分为两类。一类是测量设备和结构所存在的振动；另一类则是对设备或结构施加某种激励，对其产生的振动进行测量。此类测振的目的是研究设备或结构的力学动态特性，然后根据对所测得的振动信号进行求和、平均、积分、微分等处理，计算出被测点的位移或速度、加速度和振动频率；或者对所测得的振动信号在时域、频域内作进一步地分析和处理，如谱分析、相关分析等，进而确定被测对象的固有频率、阻尼比、刚度、振型等振动参数，确定被测对象的频率响应特性。激光测量这种非接触测量由于其良好的精准性和实时性，已经成为测量领域的热点。同时由于电子学和光学技术的飞速发展，光电检测已经成为非接触测量的一种主要方式。
激光干涉法
利用激光的干涉特性，以激光的波长等参数为基础，对元件的振动进行测量的方法叫激光干涉测振法。在振动冲击计量测试中，我们经常碰到量值溯源的问题，在量值溯源与传递系统链表里，振动冲击计量基准可以溯源到基本量———长度和时间。振动和冲击校准设备采用这种量值复现方式进行传感器的校准时，称其为“绝1对校准”。激光干涉仪是不可缺少的部分，其输出的多普勒信号把已知的激光波长和振动的位移量对应起来，是一种绝1对的测量方法。目前在振动和冲击专业中大量借助于激光干涉技术实现量值的复现，其具体实现就是采用激光干涉仪。
激光干涉测量方法作为一种重要的非接触式无损探测方法，日益得到广泛的应用。然而该测量系统多采用各种分立的玻璃光学元件构成光路，不仅结构复杂，而且对光学元件的安装、调试都有极苛刻的机械精度要求，灵活性、重复性较差，尤其是对探测系统位置的设置在许多重要场合的应用受到了限制。光纤传感技术是近几十年来迅速发展起来的一门新型科学。与传统的各类传感器相比，光纤传感器具有一系列独特的优点，灵敏度高、抗电磁干扰、耐腐蚀、耐高压、防爆阻燃、光路可绕曲性好、几何形状具有多方面适应性等，使其成为在诸多环境下的有效测量手段。
激光干涉仪功能特点：
精度高
以激光干涉技术为核心，分辨力可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决了温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。
功能广
具有实现线性、角度、直线度、垂直度、回转轴等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并可以校准机床的回转轴。
可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为机床误差修正的提供依据。
具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测量与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析等。
可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动进行环境补偿。
标准多
内置国内外通用的标准，含国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)共13份。可依据各种不同的机床标准分析处理数据，并可打印相应的曲线图和数据报告。
便携性
使用方便：准直激光后，轻易实现设备线性定位、重复定位精度、反向间隙、角度、直线度的测量。
携带方便：基本重量为15kg，简单便携。
可定制
测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel文档。
激光干涉仪的用途
激光干涉仪结合不同的光学镜组，可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。
在动态测量软件的配合下，激光干涉仪可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析。
使用环境
因为光学玻璃受热变形将产生光学表面光圈的变化，温度不稳定将直接影响测量精度的可靠性，所以激光干涉仪的使用对环境也有一定的要求：
1、温度要求在20℃左右，湿度不大于60%。
2、远离振动源，以免条纹产生抖动影响测量精度的判断。
