公司长期致力于真空泵维修保养fu务，以真空泵维修经验跟大家分享下真空泵维修一些修理经验。
有些泵，按其极限真空度的指标来说，也并不是很低的，但是生产上却希望它还能提高些，应如何着手呢?
对下面一台新的2X-30型旋片式油封机械真空泵的修理经验就可借鉴。在该泵起初进行试抽时并未发现它有什么大毛病。生产上用它单独抽空希望能稳定地达到热偶真空计75格以上(相当于麦氏训·测的5X10;托)，而实际上它比所希望的低不多。
修理时，将其拆卸后测得其主要部位间隙尺寸为:转子切点间隙Q 04 nom,高真空室双面间隙Q 07 mm，低真空室双面间隙a 08 mm，转子比旋片短0 02mm。这些数据与表2来比较，还是正常的范围。
一直以来，真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低，影响到晶圆的生产和交货期，甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计，同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比，其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
在真空泵维修中，应注意下述几点:
①该泵制造精度较高，不是非常必要则不必拆开，以免检修不当，降低精度。当然维修工作者应当提高自己的技术水平，在该泵技术性能变差时，应及时修理，{zh0}能定期(一年)检修。
②检修时，将泵从真空系统拆下后，开始检查试抽，确认必须拆泵修理时，可按下列步骤进行:取去护翠，拆下三角皮带及大皮带、排气筒，松开各进气嘴处的压盖，把油放干净后，拆去箱盖和油密封室，取出主轴(不必拆断链条)，然后抬出左右机座左右机座是泵的主要部分，拆卸时应仔细、小心、并注意检查各零部件的损伤情况和装配位置，拆下的零部件别放好，以免相互碰伤。
