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一.单晶硅石墨热场,是一个及物理.化学.几何综合理论为一体,专门研究人员经过多年反复考证。多年经验总结制定。
二.热场采用细结构中粗石墨做炉底护盘.保温罩.上下盖。采用进口等静压石墨做加热器.坩埚.导流筒.托杆.锅托等,保证了石墨坩埚的强度.及纯度。
三.热场是单晶硅成晶的重要条件之一,热场的梯度分布直接影响着能不能拉出单晶,以及拉制单晶的质量好坏,其材质好坏直接影响热场寿命。本公司与中国最早生产单晶硅企业合作十几年。合作结合国内外石墨材料一同研制成功18-22寸石墨热场,对所用石墨材料及整个热场寿命加以肯定。为以后生产特制定如下标准。