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高精度半自动光刻机北京特博万德科技有限公司

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北京特博万德科技（Top Vendor Science&Technology Co., Ltd.)有限公司，是一家专业生产和代理、经销现代化电子材料、仪器、设备的公司，我们致力于把国内外先进的科学仪器和设备引入到国内的科学研究及工业应用领域。特博万德同时代理国外诸多zm厂商的分析测试仪器与设备，为国内广大用户提供专业化的技术咨询及售后服务。所代理的产品均代表了当今世界的{yl}水平。　　

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能力	数值
X, Y方向运动距离，精度	+/-6mm； 0.1微米
Z方向精度	+/-0.5微米
Theta; 精度	+/-3°；0.001°
光罩旋转	+/-15°
控制方式	软件控制，多种工艺参数可自行设定
卡盘移动控制	电子杆
光刻模式	靠近、软接、硬接和真空接触
预对准能力	X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°
精对准能力	小于1微米
光罩尺寸	{zd0} 14”×14”
适用的样品尺寸	50 ～ 300mm
光源选择	近紫外，中紫外和深紫外

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