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反渗透水处理设备(膜分离)技术的应用使反渗透超纯水设备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器得到了一次进步。近年来开始在国外推广应用的EDI(电去离子)技术,则是超纯水制造技术的一次革命,从此进入了一个无需再生化学品,而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水,用于半导体、集成电路等行业。