电去离子(Electrodeionization
简称EDI)是将电渗析膜分离技术与离子交换技术有机地结合起来的一种新的制备超纯水(高纯水)的技术，它利用电渗析过程中的极化现象对填充在淡水室中的离子交换树脂进行电化学再生。
EDI膜堆主要由交替排列的阳离子交换膜、浓水室、阴离子交换膜、淡水室和正、负电极组成。在直流电场的作用下，淡水室中离子交换树脂中的阳离子和阴离子沿树脂和膜构成的通道分别向负极和正极方向迁移，阳离子透过阳离子交换膜，阴离子透过阴离子交换膜，分别进入浓水室形成浓水。同时EDI进水中的阳离子和阴离子跟离子交换树脂中的氢离子和氢氧根离子交换，形成超纯水(高纯水)。超极限电流使水电解产生的大量氢离子和氢氧根离子对离子交换树脂进行连续的再生。传统的离子交换，离子交换树脂饱和后需要化学间歇再生。而EDI膜堆中的树脂通过水的电解连续再生，工作是连续的，不需要酸碱化学再生。
典型半导体行业清洗用超纯水设备制备工艺
预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线sj器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)
此纯水设备的特点如下：
(1)出水水质具有{zj0}的稳定度
(2)能连续生产出符合用户要求的超纯水
(3)模块化生产，并可实现全自动控制
(4)不需酸碱再生，无污水排放
(5)不会因再生而停机
(6)无需再生设备和化学药品储运
(7)设备结构紧凑，占地面积小
(8)运行成本和维修成本低
(9)运行操作简单，劳动强度低
适用范围
·化工材料的生产和加工过程所用的溶剂及清洗过程
·超纯材料和超纯化学试剂
·实验室和中试车间
·电子半导体、集成电路板上用到的化工材
·石英、硅材料生产、加工、提纯
·高纯墨水、传真打印机中的喷墨、纳米墨水
